（為什么電子廠的無塵車間需要恒溫恒濕？）

　　隨著人們生活質(zhì)量的提高，對(duì)其生產(chǎn)質(zhì)量的要求也越來越嚴(yán)格。電子工廠等行業(yè)無塵車間建設(shè)規(guī)劃中的靜電控制主要分為兩類:高濕度實(shí)際上減少了無塵車間和潔凈室表面的靜電積累，這是理想的結(jié)果。較低的濕度更適合電荷的積累，并成為潛在的破壞性靜電放電源。

　　相對(duì)濕度超過50%時(shí)，靜電荷開始迅速消散，但相對(duì)濕度不足30%時(shí)，可長時(shí)間持續(xù)存在于絕緣體或未接地的表面。

　　相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng);但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護(hù)能力的，因此，在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。

　　總結(jié)電子行業(yè)無塵車間溫濕度的控制主要在于其生產(chǎn)工藝的要求。

　　在精密機(jī)械加工和計(jì)量等場合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，必須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動(dòng)幅度應(yīng)根據(jù)加工精度決定。例如，在恒溫室里對(duì)一根長500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中l(wèi)um為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線膨脹系數(shù)，取10／um／(m?K)；l為尺長，m]，故工件溫度變化需在以內(nèi)。

　　但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動(dòng)傳人工件后，就要衰減。在設(shè)計(jì)恒溫系統(tǒng)時(shí)，一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據(jù)，故相應(yīng)的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動(dòng)控制時(shí)，必須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自控系統(tǒng)之間的動(dòng)態(tài)特性。

　　在電子行業(yè)制造車間是最重要產(chǎn)生靜電的地方，通常靜電會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成短路甚至?xí)斐蓡T工導(dǎo)電暈倒事故，所以電子行業(yè)的無塵車間相對(duì)濕度不應(yīng)低于30%，這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生，通常建議無塵車間的防靜電區(qū)域相對(duì)濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚(yáng)，電子廠無塵車間無特殊要求的情況下，溫度控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在55～60%RH之間，在這種環(huán)境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

　　首先主要是為了錫膏能工作在一個(gè)較好的環(huán)境，溫度會(huì)影響錫膏的活性，對(duì)于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。溫度高會(huì)增加其的活性，最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊，焊點(diǎn)不光澤等現(xiàn)象。濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多水氣，會(huì)使回流時(shí)產(chǎn)生氣空，飛漸，連焊等現(xiàn)象。故SMT恒溫恒濕車間溫濕度標(biāo)準(zhǔn):溫度:24±2℃濕度:50±10%。

　　在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

　　因此，無塵車間的溫濕度控制由其生產(chǎn)工藝決定，但其精度也取決于房間的大小，如計(jì)量室、光柵雕刻室、精密儀器制造和裝配車間等。前兩個(gè)是小房間，空調(diào)精度高(這里主要指溫度和濕度)。后兩種是對(duì)溫濕度精度要求較低的大型生產(chǎn)車間，因此房間大小也將決定恒溫恒濕車間的精度。